Оптический поверхностный профилировщик BioLogic M470 - OSP

Области применения: Коррозия и покрытия, Топография

Характеристики:

Сенсор

• Диапазон измерения: 10 мм
• Исходное расстояние: 30 мм
• Максимальное вертикальное разрешение (статическое): 100 нм
• Размер пятна: 30 мкм при фокусировке
• Скорость сканирования: 10 мм / с
• Усредненное массовое считывание: Да
• Правильное позиционирование: красный свет / зеленый свет
• Источник света: полупроводниковый лазер класса 650 нм класса 2 макс. 0,95 мВт

Технические характеристики системы позиционирования

Шаговые двигатели

• Диапазон сканирования (x, y, z): 110 мм x 110 мм x 110 мм
• Минимальный размер шага по всем осям: 20 нм
• Контур с линейным нулевым гистерезисом с замкнутым контуром с прямым считыванием в реальном времени смещения по x, y и z
• Разрешение датчика линейного положения: 20 нм.
• Макс.Скорость сканирования: 10 мм / с
• Разрешение измерений: 32-разрядный декодер @ до 40 МГц

Пьезоэлектрический элемент (только для оси z)

• Диапазон вибрации 20 нм - от 2 мкм до пика с шагом 1 нм
• Минимальное Разрешение вибрации: 0,12 нм рассчитано (16-разрядный ЦАП на 4 мкм)
• Расширение пьезокристалла: 100 мкм
• Разрешение позиционирования: 0,09 нм (20-разрядный ЦАП на 100 мкм)

Карты и количественные характеристики шероховатости поверхности и топографии.

Используя бесконтактный датчик перемещения лазера, модуль OSP470 обеспечивает быстрое и точное бесконтактное измерение поверхности с очень высокой точностью. Характеристики менее одного микрометра могут быть отображены и измерены в диапазоне измерения высоты 10 мм, не касаясь поверхности образца.

OSP470 оснащен датчиком перемещения CCD, установленным на сканирующей головке рабочей станции M470. Небольшое пятно лазерного излучения при 650 нм проецируется вниз на поверхность образца, а рассеянный свет фокусируется на матрицу CCD, позволяющую измерять прямое смещение рассеянного света.

Это позволяет получить очень точный профиль всей поверхности и, таким образом, измерять шероховатость поверхности и особенности топографии. Самое главное, что модуль OSP470 позволит использовать полученные данные впоследствии для изменения высоты зонда в любой другой электрохимии, поэтому зонд может сканировать по неровным поверхностям, сохраняя при этом постоянное расстояние от зонда от образца.